电子级氢氟酸检测机构 氢氟酸杂质检测分析中心
发布时间:2022-09-15
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你了解电子级氢氟酸吗?哪个机构可以提供专业的电子级氢氟酸检测服务?氢氟酸杂质检测分析中心-中科检测,具备氢氟酸分析检测资质能力,下面跟着中科检测小编来了解。
电子级氢氟酸介绍
电子级氢氟酸分子式HF,分子量 20. 01。为无色透明液体,相对密度1. 15~1 . 18,沸点 112 . 2 ℃,在空气中发烟,有刺激性气味,剧毒。能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应,生成各种盐类。
腐蚀性极强,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易溶于水、醇,难溶于其他有机溶剂。高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用。
电子级氢氟酸检测项目
沸氢氟酸(HF)含量、灼烧残渣、氯化物、硫酸盐和亚硫酸盐、磷酸盐、氟硅酸盐、铁、重金属、含量等。
电子级氢氟酸用途
应用于集成电路 ( I C)和超大规模集成电路 (VLSI)芯片的清洗和腐蚀,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。目前,在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业 ,其他方面用量较少。
电子级氢氟酸质量标准
目前,因各微电子生产企业对电子级氢氟酸要求的标准不同,可将其划分为四个档次:
1 低档产品,用于>1.2μmIC工艺技术的制作;
2 中低档产品,适用于0.8~1.2μmIC工艺技术的制作;
3 中高档产品,适用于0.2~0.6μmIC工艺技术的制作;
4 高档产品(UPss),适用于0.09~0.2μm和<0.09μmIC工艺技术的制作。
氢氟酸杂质检测分析中心
中科检测是中国科学院控股有限公司(国科控股)旗下第三方检验检测认证机构,通过了检验检测机构资质认定(CMA)、中国合格评定国家认可委员实验室认可(CNAS),是专业的氢氟酸检测机构。
中科检测具备氢氟酸检测资质能力,提供CMA/CNAS资质检测报告,致力于产品研发、成分检测、成分分析、配方还原、未知物分析等检测技术服务。有检测需求可以咨询中科检测工程师了解。
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